System und Verfahren zur Ausrichtung von Elektronenstrahlen in einer Mehrstrahl-Inspektionsvorrichtung

EP3867942 Art A1 25. August 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3867942
Aktenzeichen: EP19773417
Anmeldetag: 20. September 2019
Veröffentlichung: 25. August 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/28H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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