Filter für eine Plasmafahne
EP3868916
Art B1
18. Mai 2022
Anmelder: Lam Research Corporation, Solmates B.V. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3868916
- Aktenzeichen
- EP20158312
- Anmeldetag
- 19. Februar 2020
- Veröffentlichung
- 18. Mai 2022
- Erteilung
- 18. Mai 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Lam Research Corporation
Solmates B.V. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Fachgebiete
Kanzlei
Inaday Patent B.V.
Enschede, Niederlande
Niederländische Kanzlei mit dem Versprechen, Ideen bereits innerhalb eines Werktages rechtlich abzusichern („Ieder idee, in één dag beschermd“). Standorte unter anderem in Enschede und Zwolle, arbeitet mit festen, transparenten Preisen statt klassischer Stundenabrechnung.
773
Patente gesamt
2
Patentanwälte
1
Standorte
Weitere Vertreter
-
Mewburn Ellis LLP
Mewburn Ellis LLP · München