Auger-Elektronenmikroskop und Analyseverfahren

EP3869186 Art B1 16. August 2023

Anmelder: JEOL Ltd., Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3869186
Aktenzeichen: EP21155520
Anmeldetag: 5. Februar 2021
Veröffentlichung: 16. August 2023
Erteilung: 16. August 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G01N23/2251G01N23/2276

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: JEOL Ltd.
Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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