Graue Scatterometrische Überlagerungsziele für Einzelzellen und deren Messung unter Verwendung Unterschiedlicher Beleuchtungsparameter
EP3870935
Art A1
1. September 2021
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3870935
- Aktenzeichen
- EP19886957
- Anmeldetag
- 5. August 2019
- Veröffentlichung
- 1. September 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00// G01N21/956G01N21/95
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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