Überwachung von Lichtemissionen

EP3871473 Art B1 26. März 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3871473
Aktenzeichen: EP19806069
Anmeldetag: 24. Oktober 2019
Veröffentlichung: 26. März 2025
Erteilung: 26. März 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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