Verfahren zur Fokussierungspositionserkennung, Fokussierungspositionsdetektor, Aufzeichnungsmedium und Programm zur Fokussierungspositionserkennung

EP3872765 Art A1 1. September 2021

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3872765
Aktenzeichen: EP21153248
Anmeldetag: 25. Januar 2021
Veröffentlichung: 1. September 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G06T7/70

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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