Verfahren und Vorrichtung zur Formung einer Strukturierten Materialschicht

EP3875633 Art A1 8. September 2021

Anmelder: Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten, Universiteit van Amsterdam, Stichting VU, ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3875633
Aktenzeichen: EP20160615
Anmeldetag: 3. März 2020
Veröffentlichung: 8. September 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/04C23C16/26C23C16/455C23C16/48C23C16/56C23C14/04G03F7/20H01L21/02H01J37/317C23C16/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten
Universiteit van Amsterdam
Stichting VU
ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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