Verfahren zur Herstellung eines Reflektierenden Maskenrohlings und Reflektierender Maskenrohling

EP3876033 Art A1 8. September 2021

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3876033
Aktenzeichen: EP21159655
Anmeldetag: 26. Februar 2021
Veröffentlichung: 8. September 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/24C23C14/00G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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