Strahlmanipulator in einer Ladungsteilchenstrahl-Belichtungsvorrichtung

EP3876258 Art A1 8. September 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3876258
Aktenzeichen: EP20161464
Anmeldetag: 6. März 2020
Veröffentlichung: 8. September 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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