Verfahren zum Ableiten einer Lokalen Gleichförmigkeitsmetrik und Zugehörige Vorrichtungen

EP3879342 Art A1 15. September 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3879342
Aktenzeichen: EP20161969
Anmeldetag: 10. März 2020
Veröffentlichung: 15. September 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01B11/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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