Elektromagnetische Zusammengesetzte Linse und Optisches System mit Geladenen Teilchen mit einer Solchen Linse

EP3881347 Art A1 22. September 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3881347
Aktenzeichen: EP19794529
Anmeldetag: 24. Oktober 2019
Veröffentlichung: 22. September 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/145H01J37/28H01J37/143

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von