Verfahren zur Steuerung eines Herstellungsverfahrens und Zugehörige Vorrichtungen

EP3882701 Art A1 22. September 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3882701
Aktenzeichen: EP20164221
Anmeldetag: 19. März 2020
Veröffentlichung: 22. September 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/762H01L21/20H01L23/00H01L21/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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