Schutzschichtbildendes Mittel für Plasmaschneiden und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterchips

EP3882959 Art B1 22. Januar 2025

Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3882959
Aktenzeichen
EP19883381
Anmeldetag
12. September 2019
Veröffentlichung
22. Januar 2025
Erteilung
22. Januar 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/78
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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