Verfahren zum Füllen eines Raumes in einem Halbleiter Bauelement

EP3886143 Art A1 29. September 2021

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3886143
Aktenzeichen: EP20164988
Anmeldetag: 23. März 2020
Veröffentlichung: 29. September 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/28H01L21/822H01L21/8234H01L21/8238H01L27/06H01L29/66H01L29/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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