1-Methyl-1-Isopropoxysilacycloalkane und daraus Hergestellte Dichte Organosilanschichten

EP3887566 Art A1 6. Oktober 2021

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3887566
Aktenzeichen: EP19890303
Anmeldetag: 26. November 2019
Veröffentlichung: 6. Oktober 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/40C23C16/448C23C16/505H01L21/02C03C17/00C23C16/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von