Dynamische Mantelsteuerung mit Randringhebung
EP3887570
Art B1
3. Januar 2024
Anmelder: Lam Research Corporation, LAM Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3887570
- Aktenzeichen
- EP19890740
- Anmeldetag
- 14. November 2019
- Veröffentlichung
- 3. Januar 2024
- Erteilung
- 3. Januar 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/458C23C16/505H01J37/32C23C16/50H01L21/687
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Lam Research Corporation
LAM Research Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Mewburn Ellis LLP
Mewburn Ellis LLP · München