Verfahren zur Steuerung eines Sensors

EP3889617 Art B1 30. Juli 2025

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3889617
Aktenzeichen: EP21166847
Anmeldetag: 2. April 2021
Veröffentlichung: 30. Juli 2025
Erteilung: 30. Juli 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01P15/097G01P15/13// G01P15/08G01C19/5776G01C19/5726

Abstract

La présente description concerne un procédé de commande d'un capteur micro-électromécanique, comprenant les étapes suivantes : exciter, par un même premier signal (FSL), un premier élément résonnant (206L) et au moins un deuxième élément résonnant (206R) ; et évaluer un déphasage (Δϕ) entre le premier signal et un deuxième signal (FSR) image de vibrations du deuxième élément résonnant.

Anmelder

Firma: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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