Verfahren und Systeme für Ko-Lokalisierte Metrologie
EP3891492
Art A1
13. Oktober 2021
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3891492
- Aktenzeichen
- EP20744676
- Anmeldetag
- 16. Januar 2020
- Veröffentlichung
- 13. Oktober 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/95G01N21/88G01B11/24G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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