Abgabe von Licht in eine Vakuumkammer unter Verwendung einer Optischen Faser

EP3891539 Art A1 13. Oktober 2021

Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3891539
Aktenzeichen
EP19915483
Anmeldetag
28. November 2019
Veröffentlichung
13. Oktober 2021
Rechtsraum
EP
IPC
G02B6/38G01R31/265G01N21/88H01J37/22G01R31/28G01R31/302G02B6/27G02B6/42G02B6/293H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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