Züchten eines Dielektrischen Materials auf einer Oberfläche

EP3892585 Art A1 13. Oktober 2021

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3892585
Aktenzeichen: EP20169036
Anmeldetag: 9. April 2020
Veröffentlichung: 13. Oktober 2021
Rechtsraum: EP
IPC: B82Y30/00B82Y40/00C23C16/40C23C16/455H01L21/02C23C16/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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