Reflektierender Maskenrohling, Verfahren zur Herstellung davon und Reflektierende Maske
EP3893052
Art A1
13. Oktober 2021
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3893052
- Aktenzeichen
- EP21167713
- Anmeldetag
- 9. April 2021
- Veröffentlichung
- 13. Oktober 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/24G03F1/54G03F1/58
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
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Fachgebiete
Vertreten von
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Mewburn Ellis LLP
Mewburn Ellis LLP · München