Beurteilungswerkzeug mit Geladenen Partikeln, Inspektionsverfahren

EP3893264 Art A1 13. Oktober 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3893264
Aktenzeichen: EP20168278
Anmeldetag: 6. April 2020
Veröffentlichung: 13. Oktober 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/147H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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