Chemisch-Mechanisches Polieren von Kupfer- und Rutheniumhaltigen Substraten

EP3894494 Art A1 20. Oktober 2021

Anmelder: BASF SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3894494
Aktenzeichen: EP19816722
Anmeldetag: 11. Dezember 2019
Veröffentlichung: 20. Oktober 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C09G1/02H01L21/30C09K3/14H01L21/321H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: BASF SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 BASF

Deutscher Chemiekonzern mit Sitz in Ludwigshafen, gegründet 1865. Entwickelt und produziert Chemikalien, Kunststoffe, Agrarprodukte und Materialien für zahlreiche Industriezweige.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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