Gemeinsame Elektronenoptische Säulen für Flutladung und Bilderzeugung bei Spannungskontrastwaferinspektionen
EP3895197
Art A1
20. Oktober 2021
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3895197
- Aktenzeichen
- EP19897167
- Anmeldetag
- 13. Dezember 2019
- Veröffentlichung
- 20. Oktober 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/28H01J37/147H01J37/22
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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