Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung von (quasi-)periodischen Interferenzmustern
Anmelder: Imec VZW, Katholieke Universiteit Leuven, Katholieke Universiteit Leuven KU Leuven Research & Development 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3896523
- Aktenzeichen
- EP20169757
- Anmeldetag
- 16. April 2020
- Veröffentlichung
- 10. August 2022
- Erteilung
- 10. August 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Imec VZW
Katholieke Universiteit Leuven
Katholieke Universiteit Leuven KU Leuven Research & Development - Land
- 🇧🇪 Belgien
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