Feld-Zu-Feld-Korrekturen unter Verwendung von Overlay-Zielen

EP3899509 Art B1 2. Juli 2025

Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3899509
Aktenzeichen
EP19898388
Anmeldetag
20. Dezember 2019
Veröffentlichung
2. Juli 2025
Erteilung
2. Juli 2025
Rechtsraum
EP
IPC
G01N21/956G01N21/95G01B11/25G03F1/42G03F7/00G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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