Ladungsteilchenstrahlsystem

EP3901983 Art B1 23. November 2022

Anmelder: JEOL Ltd., Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3901983
Aktenzeichen: EP21166267
Anmeldetag: 31. März 2021
Veröffentlichung: 23. November 2022
Erteilung: 23. November 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/18H01J37/26H01J37/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: JEOL Ltd.
Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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