Ätzverfahren unter Verwendung von Halogenfluor und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiters

EP3901991 Art A1 27. Oktober 2021

Anmelder: Resonac Corporation, Showa Denko K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3901991
Aktenzeichen: EP19899418
Anmeldetag: 9. Dezember 2019
Veröffentlichung: 27. Oktober 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3065H01L21/311

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Resonac Corporation
Showa Denko K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Resonac

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, hervorgegangen aus Showa Denko. Das Unternehmen stellt unter anderem Halbleitermaterialien, Elektronikchemikalien und funktionale Chemieprodukte her.

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🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von