Elektrische Vorrichtung zur Charakterisierung eines Abscheidungsschrittes Wie Z. B. Atomlagenabscheidung (ald), sowie Entsprechende Verfahren zur Herstellung und Charakterisierung

EP3901997 Art A1 27. Oktober 2021

Anmelder: Murata Manufacturing Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3901997
Aktenzeichen: EP20305385
Anmeldetag: 22. April 2020
Veröffentlichung: 27. Oktober 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/66C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Murata Manufacturing Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Murata Manufacturing

Japanisches Elektronikunternehmen mit Sitz in Kyoto. Murata entwickelt und produziert elektronische Bauelemente wie Kondensatoren, Sensoren und Kommunikationsmodule für Elektronikgeräte.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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