Rastertransmissionselektronenmikroskop und Einstellungsverfahren eines Optischen Systems

EP3905302 Art B1 12. März 2025

Anmelder: JEOL Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3905302
Aktenzeichen: EP21169234
Anmeldetag: 19. April 2021
Veröffentlichung: 12. März 2025
Erteilung: 12. März 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/153H01J37/22H01J37/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JEOL Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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