Auf Bor Basierende Abdeckschichten für Euv-Optiken
EP3906434
Art A1
10. November 2021
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3906434
- Aktenzeichen
- EP19906782
- Anmeldetag
- 23. Dezember 2019
- Veröffentlichung
- 10. November 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B1/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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