Ladungsteilchenstrahlsystem zum Abtasten einer Probe

EP3906579 Art A1 10. November 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3906579
Aktenzeichen: EP19832676
Anmeldetag: 19. Dezember 2019
Veröffentlichung: 10. November 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/28G01N23/2251G01R31/28G01R31/307

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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