Entgegenwirken von Halbleitermaterialverlust Während der Herstellung von Halbleiterstrukturen

EP3907179 Art A1 10. November 2021

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3907179
Aktenzeichen: EP20173771
Anmeldetag: 8. Mai 2020
Veröffentlichung: 10. November 2021
Rechtsraum: EP
IPC: B82Y10/00H01L29/06H01L29/08H01L29/423H01L29/775H01L21/336// H01L29/16H01L29/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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