Vakuumpumpe

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3907406

Aktenzeichen

EP21168848

Anmeldetag

16. April 2021

Veröffentlichung

3. Mai 2023

Erteilung

3. Mai 2023

Rechtsraum

EP

IPC

F04D19/04

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularvakuumpumpe, mit zumindest einem Einlass, einem Auslass und wenigstens zwei bezüglich einer gemeinsamen Rotationsachse konzentrischen, in Pumprichtung zwischen dem Einlass und dem Auslass aufeinander folgenden Holweckstufen, die jeweils ein Holweckstatorsegment mit einem Holweckgewinde und eine um die Rotationsachse rotierende Holweckhülse umfassen, wobei die Holweckstatorsegmente jeweils an einer Seite eines gemeinsamen Holweckstators angeordnet sind, der in einen radialen Zwischenraum zwischen den konzentrisch angeordneten Holweckhülsen ragt, die an einer mit einem Rotor der Vakuumpumpe drehfest verbundenen Holwecknabe befestigt sind. Ein axialer Abstand zwischen einem in den radialen Zwischenraum ragenden axialen Ende zumindest eines der Holweckstatorsegmente und der Holwecknabe ist größer als 25% der axialen Erstreckung eines in den radialen Zwischenraum ragenden Abschnitts der Holweckstatorsegmente. Alternativ oder zusätzlich ist der axiale Abstand größer als 25% der axialen Erstreckung zumindest einer der Holweckhülsen und/oder eine axiale Erstreckung eines in den radialen Zwischenraum ragenden Abschnitts zumindest eines der Holweckstatorsegmente ist kleiner als 75% der axialen Erstreckung zumindest einer der Holweckhülsen.

Anmelder

Firma

Pfeiffer Vacuum Technology AG

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete