Hafniumoxidkorrosionsinhibitor

EP3909068 Art A1 17. November 2021

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3909068
Aktenzeichen: EP20739066
Anmeldetag: 10. Januar 2020
Veröffentlichung: 17. November 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3213

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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