Vorrichtung zur Messung der Dicke einer Folie, Poliervorrichtung und Verfahren zur Messung der Dicke einer Folie

EP3909717 Art B1 21. August 2024

Anmelder: EBARA CORPORATION, Ebara Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3909717
Aktenzeichen
EP21173616
Anmeldetag
12. Mai 2021
Veröffentlichung
21. August 2024
Erteilung
21. August 2024
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/005B24B37/013B24B49/12G01B11/06H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
EBARA CORPORATION
Ebara Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Vertreten von
Schmidbauer, Andreas Konrad Wagner & Geyer München, Deutschland
1.863
Patente gesamt
31
Fachgebiete
15
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Nachrichtentechnik & Telekommunikation Software & Datenverarbeitung Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Medizintechnik & Gesundheit
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Kanzlei
Wagner & Geyer München, Deutschland

Wagner & Geyer wurde 1972 von Karl H. Wagner in München gegründet und fusionierte 1983 mit Dr. Ulrich F. Geyer. Neben Patenten begleitet die Kanzlei Designs, Gebrauchsmuster und Marken im internationalen Partnernetzwerk und berät traditionell eng mit japanischen Mandanten auf Deutsch, Englisch und Japanisch.

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