Detektionsvorrichtung mit Piezoresistivem Wandler
Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3910344
- Aktenzeichen
- EP21173188
- Anmeldetag
- 11. Mai 2021
- Veröffentlichung
- 8. November 2023
- Erteilung
- 8. November 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01P15/12G01C19/5733B81B3/00G01L1/18
Abstract
L'invention est relative à un capteur ayant une masse (2) mobile relativement á un substrat (1), avec un dispositif de détection à transduction, comprenant une jauge (3) de contrainte suspendue au-dessus d'une face (13) du substrat (1) et comprenant un élément piézorésistif (31) ayant une première extrémité ancrée relativement au substrat (1) et une deuxième extrémité ancrée relativement à la masse mobile (2); au moins une partie de la surface de l'élément piézorésistif (31) est recouverte par un empilement comprenant, successivement depuis la surface de l'élément piézorésistif (31), une couche diélectrique (32) et une couche électriquement conductrice (33). L'empilement est configuré de maniére qu'il augmente la capacité entre l'élément résistif et le substrat. L'invention résulte dans une réduction du bruit en 1/f .
Anmelder
- Firma
- Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.
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Fachgebiete
Stammsitz in Nizza, zusätzlich in Grenoble, Sophia Antipolis, Paris und mit Vertretung in Monaco. Zugelassen bei INPI, EPA, WIPO und dem monegassischen Patentamt, mit breiter Mandantschaft von Start-ups bis Großkonzernen.
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