Verfahren zur Bestimmung einer Inspektionsstrategie für eine Gruppe von Substraten in einem Halbleiterherstellungsverfahren

EP3910417 Art A1 17. November 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3910417
Aktenzeichen: EP20174335
Anmeldetag: 13. Mai 2020
Veröffentlichung: 17. November 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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