Euv-Strahlungsquelle

EP3911126 Art A1 17. November 2021

Anmelder: Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten, Universiteit van Amsterdam, Stichting VU, ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3911126
Aktenzeichen: EP20174949
Anmeldetag: 15. Mai 2020
Veröffentlichung: 17. November 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H05G2/00G03F7/20G02F1/39

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten
Universiteit van Amsterdam
Stichting VU
ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik

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