Optische Beugungskomponente zur Unterdrückung von mindestens einer Zielwellenlänge durch Destruktive Interferenz

EP3912000 Art A1 24. November 2021

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3912000
Aktenzeichen: EP20701541
Anmeldetag: 14. Januar 2020
Veröffentlichung: 24. November 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B5/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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