Superkontinuumstrahlungsquelle und Zugehörige Metrologievorrichtungen

EP3913430 Art B1 28. September 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3913430
Aktenzeichen: EP21169501
Anmeldetag: 20. April 2021
Veröffentlichung: 28. September 2022
Erteilung: 28. September 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G02F1/35G03F7/20G03F9/00G02B6/02G02B6/42H01S3/00

Abstract

Disclosed is a supercontinuum radiation source comprising a modulator being operable to modulate pump laser radiation comprising a train of radiation pulses to provide modulated pump laser radiation, said modulation being such to selectively provide a burst of said pulses; and a hollow-core photonic crystal fiber being operable to receive the modulated pump laser radiation and excite a working medium contained within the hollow-core photonic crystal fiber so as to generate supercontinuum radiation.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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