Verfahren zur Verarbeitung einer Elektronischen Schaltung für Hybride Molekulare Klebung

EP3913657 Art A3 15. Dezember 2021

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3913657
Aktenzeichen: EP21172791
Anmeldetag: 7. Mai 2021
Veröffentlichung: 15. Dezember 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/60H01L21/66// H01L23/485H01L21/768

Abstract

La présente description concerne un procédé de traitement d'un circuit électronique (10) comprenant à un emplacement au moins un plot de test (14) conducteur électriquement ayant une première face (16) exposée. Le procédé comprend la gravure au moins partielle du plot de test par la première face, et la formation sur le circuit électronique d'un niveau d'interconnexion recouvrant ledit emplacement et comprenant, du côté opposé audit emplacement, une deuxième face plane adaptée pour la réalisation d'un collage moléculaire hybride.

Anmelder

Firma: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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