Wellenfrontsensor und Zugehörige Messvorrichtung

EP3914966 Art A1 1. Dezember 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3914966
Aktenzeichen: EP19832659
Anmeldetag: 19. Dezember 2019
Veröffentlichung: 1. Dezember 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01J9/00H05G2/00G02B3/00G02B5/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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