Verfahren zur Kalibrierung der Vertikalität eines Teilchenstrahls und in einem Halbleiterfertigungsprozess Angewendetes System
EP3915130
Art A1
1. Dezember 2021
Anmelder: Yangtze Memory Technologies Co., Ltd. 🇨🇳
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3915130
- Aktenzeichen
- EP19950395
- Anmeldetag
- 30. Oktober 2019
- Veröffentlichung
- 1. Dezember 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/21
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Yangtze Memory Technologies Co., Ltd.
- Land
- 🇨🇳 China
🇨🇳
Yangtze Memory Technologies
Chinesisches Unternehmen aus Wuhan, das NAND-Flash-Speicherchips entwickelt und produziert.
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