Vorrichtung zur Bearbeitung eines Wafers und Verfahren zur Steuerung einer Solchen Vorrichtung

EP3915141 Art A1 1. Dezember 2021

Anmelder: Lam Research AG 🇦🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3915141
Aktenzeichen: EP20700548
Anmeldetag: 3. Januar 2020
Veröffentlichung: 1. Dezember 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lam Research AG
Land: 🇦🇹 Österreich

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von