Verfahren zur Steuerung der Spannung in einem Substrat Während der Laserablagerung
EP3916122
Art A1
1. Dezember 2021
Anmelder: Lam Research Corporation, Solmates B.V. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3916122
- Aktenzeichen
- EP20177146
- Anmeldetag
- 28. Mai 2020
- Veröffentlichung
- 1. Dezember 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/28C23C14/54
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Lam Research Corporation
Solmates B.V. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Fachgebiete
Kanzlei
Inaday Patent B.V.
Enschede, Niederlande
Niederländische Kanzlei mit dem Versprechen, Ideen bereits innerhalb eines Werktages rechtlich abzusichern („Ieder idee, in één dag beschermd“). Standorte unter anderem in Enschede und Zwolle, arbeitet mit festen, transparenten Preisen statt klassischer Stundenabrechnung.
773
Patente gesamt
2
Patentanwälte
1
Standorte
Weitere Vertreter
-
Mewburn Ellis LLP
Mewburn Ellis LLP · München