Konditioniervorrichtung und Zugehöriger Objekthandler, Stufeneinrichtung und Lithographieeinrichtung

EP3916482 Art A1 1. Dezember 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3916482
Aktenzeichen: EP20176855
Anmeldetag: 27. Mai 2020
Veröffentlichung: 1. Dezember 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/67H01L21/68G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von