Positionierungsvorrichtung, Steifigkeitsreduktionsvorrichtung und Elektronenstrahlvorrichtung

EP3918223 Art B1 8. November 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3918223
Aktenzeichen: EP19816734
Anmeldetag: 11. Dezember 2019
Veröffentlichung: 8. November 2023
Erteilung: 8. November 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00H01J37/20F16F7/10

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von