Multipositionsgasinjektion zur Verbesserung der Gleichmässigkeit in Schnellen Wechselprozessen
EP3918632
Art A1
8. Dezember 2021
Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3918632
- Aktenzeichen
- EP20747575
- Anmeldetag
- 23. Januar 2020
- Veröffentlichung
- 8. Dezember 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67C23C16/455C23C16/509C23C16/52H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lam Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Mewburn Ellis LLP
Mewburn Ellis LLP · München