E-Strahlbasiertes Herstellungsverfahren für Mikro- und Nanostrukturen und nach dem Verfahren Hergestellte Optische Vorrichtungen
EP3919949
Art A1
8. Dezember 2021
Anmelder: ETH Zürich 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3919949
- Aktenzeichen
- EP20177729
- Anmeldetag
- 2. Juni 2020
- Veröffentlichung
- 8. Dezember 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B6/12G02B6/124G02B6/136G02B6/293
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ETH Zürich
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
ETH Zürich
Eidgenössische Technische Hochschule Zürich, Schweizer Hochschule mit Forschungsschwerpunkten in Natur-, Ingenieur- und Materialwissenschaften.
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